我国比较先进的光刻机上市公司列举

上海微电子 上海微电子：上海微电子2020年10月20日，获得上海知识产权创新奖创造奖，2022年1月28日，国家发展改革委等部门关于印发2021年（第28批）新认定及全部国家企业技术中心名单的通知显示：该企业技术中心具有国家企业技术中心资格。 中科院光电所 中科院光电所：研究室共用检测技术所级中心共设置5个检测组，共有仪器30台套，可提供光学材料特性检测、光学零件面形误差检测...