平面度测量方法

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。 测量方法： 1、塞尺测量法。塞尺主要用于间隙间距的测量，对平面度的测量只能进行粗测。塞尺使用前必须先清除塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可用一片或数片重叠插入间隙，以稍感拖滞为宜。测量时动作要轻，不允许硬插。由于其精度不高，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。 2、液平面法...